2021年单晶炉安全操作规范

2021年单晶炉安全操作规范
1开机安全检查
单晶炉开机装料前应电气机械液压等部分进行检查单晶炉电极处电压输出机械传动安全
1）检查加热器处关闭状态（否切断回路空开？）
2）欧陆表输出设定0
3）炉膛炉盖付室机械联接部位螺丝松动现象4）检查炉膛炉盖付室液压升降应正常
2装炉时安全事项开机检查正常情况装炉时控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌
3抽真空安全事项
1）开真空泵前应检查真空泵房确保应设备真空泵道处员操作状态
2）真空泵操作规程正确操作
3）抽真空程中应检查环节密封圈处正常应脱落装反等现象4）单晶炉真空状态程中严禁手物品碰触堵漏气处免造成身设备损害发现漏气应停炉恢复常压规程操作
4装炉装料拆炉清炉清理真空泵真空道程安全事项
1）工艺操作规程进行正确操作
2）必须加热器处关闭状态欧陆表输出设定0状态操作
3）控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌
4）禁止操作员身体处液压升降部件炉盖炉膛___免液压控制失灵造成身伤害确需述部件操作必须设置足够强度保证足够安全空间支撑部件支撑障时升降部件坠致伤身
5）清理真空泵真空道时必须真空泵停止运行状态进行应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌禁止合闸警示牌防员误开启真空泵造成身伤害6）炉体清洁时必须开炉盖升炉膛偏移合适位置操作员操作空间处敞开状态避免操作员处缺氧环境状态工作
5加热器加热程安全事项
述检查准备工作绪符合工艺操作规程前提开启加热器
1）开启加热器前必须检查冷水路开启水压正常否严禁开启加热器
2）开启加热器必须缓慢增加输出电压加热功率严禁超功率电流运行
3）加热器工作程中发现电极火电流等现象报警应直拉应急方案处置
严禁强行升温4）遇述障应时报修专职维修员进行维修严禁拉晶操作员擅修理
6单晶炉维修维护安全事项
1）单晶炉维修程中必须显眼位置处悬挂维修警示牌
2）严禁拉晶操作工擅拆装型机械部件免造成身伤害设备专职维修员拆装述部件时必须采取相应安全措施
3）严禁拉晶操作工拆装___V电器线路必须专职维修员进行维修专职维修员维修时必须穿电工鞋进行操作免造成电击危险
4）炉体维修维护时必须开炉盖升炉膛偏移合适位置维修员操作空间处敞开状态避免维修员处缺氧环境状态工作5）禁止维修员身体处液压升降部件炉盖炉膛___免液压控制失灵造成身伤害确需述部件操作必须设置足够强度保证足够安全空间支撑部件支撑障时升降部件坠致伤身
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