2021年单晶硅拉制工安全操作规程
1．检查晶轴坩祸轴旋转升降否灵活均匀果紧时调节炉膛密封圈紧固漏气准拧时漏气旋转升降灵活均匀更换密封圈
2．真空泵运转方应规定方旋转否引起机械泵油倒灌扩散泵中真空泵电动机电源线松掉断落现象时应真空泵扩散泵连接塑料拉掉调整电动机旋转方
3．扩散泵必须避免油氧化
4．封炉时须检查炉门橡皮否油污物否起密封作时检查炉膛没余物件
5．增温前开冷水检查水否畅流防烧坏设备
6．运动部件导轨丝杠等常擦洗润滑籽晶轴坩锅常纱布酒精甲苯擦干净采水冷防止漏水生锈
7．炉膛保持光亮清洁工作应时清氧化物炉膛应常关闭炉子工作时必须保持真空度石墨件受潮湿延长扩散泵寿命
8．密封圈橡皮垫切忌油酒精类擦拭压紧
9．先开机箱风扇电动机风扇转动风说明相序正确开增热钮发现相序风扇转应立停止增热排障
10．首先细调调中间位置进行回路送电开操台总电源开关操台开关相应部分应正常工作总励磁指示开直流电动机(籽晶坩埚轴)
11．机箱中鼓风机振动隔段时间应开箱子检查螺钉否松动现象松动应立拧紧
12．操台边线相位关系操台回路间位关系调动检查修理时拆线必须做标志免搞错
13．化学方法腐蚀已清洗完毕晶硅(回炉晶)块仔细检查氧化物蚀渣氧化物须重新腐蚀
14．装料时必须检查石英坩埚裂纹白点气泡装料装稳
15．籽晶必须装牢装歪(偏离轴心线3℃)
16．装炉时必须检查炉石墨件裂纹氧化层短路现象增热器电极否接触良时热部件装正炉子漏气时准熔硅
17．掺杂时定籽晶提高置掺杂勺方
18．拉晶中途出事迫停炉时应石墨托升高位置
19．厂炉次晶柱制高阻单晶时炉晶柱应分开利拉制高低阻单晶
20．真空复合计指示必须0．133帕(0001毫米汞柱)开硅增热器进行测量真空度0．0133帕(00001毫米汞柱)进行气气超___分钟
21．水冷时先开___号水龙头(注：水龙头编号系根设备具体情况确定)开___号水龙头开房总龙头(开水前调压开关关紧___号水龙头关)
22．水泵时需___号水龙头流量流量调压开关开调压开关关否压力会损坏设备
23．水槽水温升高水压力够程序操作：
(1)___号水龙头开
(2)___号水龙头开炉热水流出
24．发现外压升高应房总水龙头关掉然关水泵炉子处增热状态时应第___条
25．装炉电表测量电极坩锅轴否短路短路应立排
——摘机械工安全技术操作规程
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1．检查晶轴坩祸轴旋转升降否灵活均匀果紧时调节炉膛密封圈紧固漏气准拧时漏气旋转升降灵活均匀更换密封圈
2．真空泵运转方应规定方旋转否引起机械泵油倒灌扩散泵中真空泵电动机电源线松掉断落现象时应真空泵扩散泵连接塑料拉掉调整电动机旋转方
3．扩散泵必须避免油氧化
4．封炉时须检查炉门橡皮否油污物否起密封作时检查炉膛没余物件
5．增温前开冷水检查水否畅流防烧坏设备
6．运动部件导轨丝杠等常擦洗润滑籽晶轴坩锅常纱布酒精甲苯擦干净采水冷防止漏水生锈
7．炉膛保持光亮清洁工作应时清氧化物炉膛应常关闭炉子工作时必须保持真空度石墨件受潮湿延长扩散泵寿命
8．密封圈橡皮垫切忌油酒精类擦拭压紧
9．先开机箱风扇电动机风扇转动风说明相序正确开增热钮发现相序风扇转应立停止增热排障
10．首先细调调中间位置进行回路送电开操台总电源开关操台开关相应部分应正常工作总励磁指示开直流电动机(籽晶坩埚轴)
11．机箱中鼓风机振动隔段时间应开箱子检查螺钉否松动现象松动应立拧紧
12．操台边线相位关系操台回路间位关系调动检查修理时拆线必须做标志免搞错
13．化学方法腐蚀已清洗完毕晶硅(回炉晶)块仔细检查氧化物蚀渣氧化物须重新腐蚀
14．装料时必须检查石英坩埚裂纹白点气泡装料装稳
15．籽晶必须装牢装歪(偏离轴心线3℃)
16．装炉时必须检查炉石墨件裂纹氧化层短路现象增热器电极否接触良时热部件装正炉子漏气时准熔硅
17．掺杂时定籽晶提高置掺杂勺方
18．拉晶中途出事迫停炉时应石墨托升高位置
19．厂炉次晶柱制高阻单晶时炉晶柱应分开利拉制高低阻单晶
20．真空复合计指示必须0．133帕(0001毫米汞柱)开硅增热器进行测量真空度0．0133帕(00001毫米汞柱)进行气气超___分钟
21．水冷时先开___号水龙头(注：水龙头编号系根设备具体情况确定)开___号水龙头开房总龙头(开水前调压开关关紧___号水龙头关)
22．水泵时需___号水龙头流量流量调压开关开调压开关关否压力会损坏设备
23．水槽水温升高水压力够程序操作：
(1)___号水龙头开
(2)___号水龙头开炉热水流出
24．发现外压升高应房总水龙头关掉然关水泵炉子处增热状态时应第___条
25．装炉电表测量电极坩锅轴否短路短路应立排
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