毕 业 文
课题名称
真空吸附转移系统维护
院专 业
机械工程系机电体化
班 级
机 电
学 号
学生姓名
指导教师：
彭
20XX 年 X 月 X 日
真空吸附转移系统应维护
机 电
摘
现代工业生产程中真空吸附技术量运国领域长足发展 真空吸附转移系统包括真空获装置转移机构真空系统部分真空吸附系统维护生产程中重组成部分
真空吸附系统维护定期维护日常维护组成维护程量解决问题真空吸附系统应充足解课题介绍典型真空吸附转移系统工作原理工艺流程真空获取维修维护方办法应课题研究具重现实意义
关键词：真空泵转移机构维护
Abstract
In the modern industrial production process the vacuum transfer technology obtained the massive utilization but our country also obtained the considerable development in this domain The vacuum transfer technology mainly includes the vacuum system the transfer system as well as the machine part Therefore to the vacuum transfer system maintenance also is in the production process important constituent
The vacuum transfer system maintenance is composed by the maintenance routine and the routine maintenance In order to as far as possible solves the problem in the maintenance process should have the sufficient understanding to the vacuum transfer system but this topic was mainly introduced the model vacuum transfer system transfer system as well as the service maintenance main direction as well as the means should this topic research have the vital practical significance
Key words Vacuum pumpTransfer systemMaintenance
目录
第1章 概述 5
11 真空技术工业领域应 5
111真空技术冶金工业 5
112 真空技术电子工业 5
113真空技术机械制造 6
12国真空吸附技术产业发展基估计 7
13国真空吸附技术产业化发展战略思考 8
131 战略考虑 8
132 发展策略 8
第2章 常见真空获方式介绍 9
21真空泵机械原理应 9
211 真空泵生产中应 9
212 真空泵机械原理 9
22 真空泵机械分类 10
221粗真空系列 11
222高真空系列 12
23真空泵原 14
第3章 真空吸附转移系统工作程分析机构介绍工作原理 16
31真空系统组成 16
32转移机构组成 18
33 工作程分析 20
331转移机构结构 20
332真空吸附转移流水线中应 22
第4章 真空吸附转移系统常见障处理方法 23
41真空吸附转移系统常见障 23
42实际生产中常见障处理方法 23
第5章 真空系统正确维护 25
51 正确油保持真空系统清洁 25
52 真空泵换油方法 25
53加强真空系统日常维护保养 26
第6章 总结 28
答谢词 29
参考资料： 30
第1章 概述
11 真空技术工业领域应
真空吸附技术应传统制造业带革命性变化制造业成工业化象征着真空吸附技术断发展应领域扩重行业（冶金工业机械制造电子工业
等）发展起着越越重作行业中真空技术起举足轻重作目前世界真空技术应领域发展趋势研究热点方面
111真空技术冶金工业
钢液真空处理真空冶金重方面炉转炉电炉气熔炼钢液方式置真空环境中脱气排出害杂质进行合金化程目前种装置世界国已成现代化钢铁企业基组成部分例美国西德日苏联等国轴承钢电工钢优质型锻件100进行真空脱气处理作国家标准
着现代科学技术发展特航空航天技术军工生产金属材料技术断提高更离开真空技术真空冶炼真空冶金重分支精确控制产品化学成分提高产品纯洁度改善产品铸态组织真空感应熔炼种成熟真空熔炼方法生产供二次真空耗电极精密制造零件型真空感应炉生产优质特殊钢垫冷坩埚熔炼称感应壳熔炼特点避免未耐火材料坩埚带污染污染熔炼活泼金属难溶金属真空电弧重熔种成熟真空重熔技术生产钛基镍基钴基等活泼金属钨钼等难熔金属型炉子重熔特殊钢着空间技术半导体工业迅速发展电子束重熔进展熔炼范围业已难熔金属扩展半导体材料具特殊途钢种熔炼
112 真空技术电子工业
着微电子技术发展电子元器件电路尺寸越越集成度越越高促真空技术微电子技术关系更密切成门缺少技术
报道日真空厂商销售额中23面电子工业中半面集成电路代集成电路制造工艺中半工艺真空环境进行超规模集成电路约34工序需真空条件进行超规模集成电路关键技术微细加工技术图形结构形成电子束曝光X射线曝光远紫外线曝光离子束曝光等技术亚微米线宽必须采干法刻蚀技术包括离子束刻蚀等离子刻蚀反应离子刻蚀反应等离子刻蚀超薄层生长技术包括蒸发溅射化学气相沉积（CVD）等离子体（CVD）机金属（CVD）分子束外延等精确控制掺杂里离子束注入技术述工艺装置般具两特点：装置动化程度较高二需高质量真空环境检测诊断方面高电子衍射低电子衍射间歇电子谱仪二次离子谱仪求超高真空环境工作
113真空技术机械制造
1 真空热处理
真空热处理真空技术热处理工艺相结合产物具易氧化易脱碳表面光滑变形量污染节等优点发展十分迅速真空热处理仅处理活泼难熔金属高速钢工具钢模具钢轴承钢耐热钢等淬火回火固熔处理退火方面均广泛途例工具钢真空淬火变形量盐浴淬火工具13～15真空淬火工具加工工件表面粗糙度优盐浴淬火工具1～2级工具寿命提高3～4倍
2 真空钎焊
真空钎焊铝合金高温合金难熔金属硬质合金陶瓷等焊性差材料连接例气体分离设备石油化工设备中枚式换热器全部铝合金材料制成具体积重量轻效率高结构紧凑耐等优点立方米体积枚式换热面积1000方米绕式列式换热器相体积重量仅占14左右未真空钎剂铝钎焊盐炉钎焊相产品质量成低生产周期短腐蚀焊清洗省电75～80真空铝钎焊工艺成熟发展目前国外汽车飞机热交换器已采种先进工艺
3 真空涂层刀具
十年利物理气相沉淀（PVD）高速钢刀具镀Tin十分盛行称刀具革命刀具离子镀方法中发展较快电弧离子镀采电弧放电方法固体阴极靶材直接蒸发金属蒸发钛靶接阴极真空室阳极触发电机阴极靶突然脱离时引起电弧阴极表面产生强烈发光阴极斑点斑点材料瞬时蒸发电离电弧离子镀优点沉寂速度高沉池阴极靶根工件形状意方布置夹具简化
12国真空吸附技术产业发展基估计
究竟什真空系统句话概括：获特定求真空度抽气系统真空系统设计基容：根抽容器真空度求选择适真空系统设计方案进行选配泵计算确定导阀门捕集器真空测量元件等进行合理配置划出真空系统装配图零部件图
真空吸附里般真空成型：指成型模具模模开出抽真空细孔利真空产生压力皮面模具更紧密贴合产品外观更符合设计求成型方法果PP泡沫层胶面需加热体果PP泡沫层没涂布胶面成型前需体预粘接面喷涂粘接剂
应注意点：
1．真空成型时空气压力材料强度原细圆弧难成型皮面花纹般会选择花纹选择细密花纹会伤脑筋哦
2．空气压力分布均匀性产品局部剥离强度样耐寒耐热试验实际中许会发生脱胶剥离现象
3 易发生漏气现象真空模具制造时模具边缘处重点尺寸求部位气孔排布考虑时成型果工序允许应添加手工修整员极提高产品品质
4．真空成型工艺体高度变化较时成型效果高度尺寸变化较部位易成型失败应面板类表面成型
说说进行真空成型超音波焊接工序排列问题真空成型时产品摆放位置求严格果先超音波焊接真空成型会产生较次品毕竟超音波焊接尺寸公差求宽松保证尺寸精度情况进行真空成型现实时超音波焊接设备相真空成型设备简单占产品完成表皮成型初步外观检测通进入道工序较济避免工设备资源浪费外模具制造角度考虑外形越简单模具芯制造成越低焊接导轨产品外形变复杂模具造价会升果式样费增加点
13国真空吸附技术产业化发展战略思考
131 战略考虑
国制造国世界产业转移中量接受前端端转移掌握先进制造核心技术否新轮国际产业结构调整中国制造业进步空芯资源环境市场代价交换仅仅世界新济格局中国际加工中心组装中心非掌握核心技术制造中心位样会严重影响国现代制造业发展进程
应站国家安全战略高度重视真空技术产业问题首先社会安全制造业国业口行业制造业发展仅提高民生活水缓解国业压力保障社会稳定次国防安全西方发达国家高精尖真空产品列国家战略物质国实现禁运限制东芝事件考克斯报告例证
132 发展策略
国基国情角度出发国家战略需求国民济市场需求导提高国制造装备业综合竞争力产业化水目标系统方法选择够导21世纪初期国制造装备业发展升级关键技术支持产业化发展支撑技术配套技术作研究开发容实现制造装备业跨跃式发展
强调市场需求导真空终端产品整机（量面广真空系统铣床高速高精高性真空系统典型数字化机械重点行业关键设备等）带动真空技术产业发展重点解决真空系统相关功部件（数字化伺服系统电机高速电轴系统新型装备附件等）性生产规模问题没规模会高性产品没规模会价格低廉富竞争力产品然没规模中国真空装备终难出头日
高精尖装备研发方面强调产学研终户紧密结合做出卖掉目标国家意志实施攻关解决国家急需
竞争前真空技术方面强调创新强调研究开发具知识产权技术产品国真空技术产业装备制造业整制造业持续发展奠定基础 着科学技术发展 真空系统具优越加工特点 机械制造业中应越越广泛 现代工必须掌握真空技术发展趋势策
第2章 常见真空获方式介绍
21真空泵机械原理应
211 真空泵生产中应
真空泵广泛塑料机械农药化工染料化工砖瓦机械低温设备造纸机械医药化工食品机械工业电炉电子行业真空设备化肥冶金石油矿山基处理等领域
2BA型水环式真空泵满足真空泵带水吸气求原SKF型2FA型水环式真空泵基础行开发研制成新代水环式真空泵设计先进结构新颖适种较苛刻复杂应领域抽吸含量水气凝汽介质抽吸易燃易爆毒腐蚀性气体时易发生危险广泛应机械石油化工电力制药食品陶瓷制糖印染冶金塑料瓦砖皮革等行业特适塑料配套2BA型水环式真空泵分取代SZSK2SK32SK62S1852SK230W型复式真空泵
程中常碰输送化学气体需引进耐腐蚀真空泵新概念利陶瓷锈钢合金等特殊介质做流部分真正符合通常耐磨耐酸耐碱耐高温求
212 真空泵机械原理
GG－17玻璃膨胀系数低更耐受高温度差变该泵型泵受起高温寿命更长该泵适电子工业电子显X光半导体单晶硅冶炼提纯高沸点油脂蒸馏提纯分离日光灯保温瓶高真空排气仪器 先转动真空泵系统抽102Pa扩散泵油加热沸腾高速喷出油蒸汽流断系统气体分子带泵侧臂弯球泡处集结气体密度达机械真空泵工作范围抽出逐渐获高真空
水环真空泵（简称水环泵）种粗真空泵获极限真空2000~4000Pa串联气喷射器达270～670Pa水环泵作压缩机称水环式压缩机属低压压缩机压力范围1～2×105Pa表压力
水环泵初作吸水泵逐渐石油化工机械矿山轻工医药食品等许工业部门工业生产许工艺程中真空滤真空引水真空送料真空蒸发真空浓缩真空回潮真空脱气等水环泵广泛应真空应技术飞跃发展水环泵粗真空获方面直重视水环泵中气体压缩等温抽易燃易爆气体外抽含尘含水气体水环泵应日益增
泵体中装适量水作工作液叶轮时针方旋转时水叶轮抛四周离心力作水形成决定泵腔形状似等厚度封闭圆环水环部分表面恰叶轮轮毂相切水环部表面刚叶片顶端接触（实际叶片水环定插入深度）时叶轮轮毂水环间形成月牙形空间空间叶轮分成叶片数目相等干腔果叶轮部0°起点叶轮旋转前180°时腔容积变端面吸气口相通时气体吸入吸气终时腔吸气口隔绝叶轮继续旋转时腔变气体压缩腔排气口相通时气体便排出泵外综述水环泵泵腔容积变化实现吸气压缩排气属变容式真空泵
罗茨泵泵腔二8字形转子相互中真空泵需前级泵罗茨泵极限真空取决泵身结构制造精度外取决前级泵极限真空提高泵极限真空度罗茨泵串联
罗茨泵工作原理罗茨鼓风机相似转子断旋转抽气体进气口吸入转子泵壳间空间v0排气口排出吸气v0空间全封闭状态泵腔气体没压缩膨胀转子顶部转排气口边缘v0空间排气侧相通时排气侧气体压强较高部分气体返空间v0中气体压强突然增高转子继续转动时气体排出泵外
22 真空泵机械分类
工作原理基分气体输送泵气体捕集泵两种类型气体输送泵包括：液环真空泵（水环式真空泵）复式真空泵旋片式真空泵定片式真空泵滑阀式真空泵余摆线真空泵干式真空泵罗茨真空泵分子真空泵牵引分子泵复合式真空泵水喷射真空泵气体喷射泵蒸汽喷射泵扩散泵等气体捕集泵包括：吸附泵低温泵等工业中应水环式真空泵旋片式真空泵等真空度分：粗真空高真空超高真空三类真空度级图21
图 21
221粗真空系列
1 2SKSK系列双级水环式真空泵
抽空气定腐蚀性溶水允许含少量固体颗粒气体广泛食品纺织医药化工等行业真空蒸发浓缩浸渍干燥等工艺程中该型泵具真空度高结构简单方便工作维护方便特点
2 2BA2BV系列水环式真空泵
粗真空抽气量工艺程中抽空气腐蚀溶水含少量固体颗粒气体便密闭容器中形成真空吸气体中允许混少量液体广泛应机械制药食品石油化工等行业中
3 W型复式真空泵
获粗真空真空设备广泛应化工食品建材等部门特真空结晶干燥滤蒸发等工艺程中更适宜
4 WLW型立式油真空泵
WLW型油(耐腐蚀)立式复真空泵W型卧式真空泵更新换代产品获粗真空设备采全密封装置实现曲轴箱汽缸完全隔离加活塞环润滑材料便实现先进油润滑污水排放该型真空泵特适化工医药食品等行业真空蒸馏真空蒸发真空干燥真空浓缩真空浸渍等工艺程中
222高真空系列
1 H2H型滑阀式真空泵
广泛应真空拉晶真空镀膜真空冶金真空热处理真空浸渍真空干燥真空蒸馏真空练泥航空航天模拟试验等新材料新技术新工艺生产研制中
滑阀真空泵单独作罗茨真空泵油增压泵油扩散泵前级泵抽吸黑色金属腐蚀真空油起化学反应含量蒸汽量粉尘气体时需附加装置 优点：相旋片式真空泵耐5倍取代
旋片真空泵趋势价格相高点
2 2X型旋片式真空泵
抽密闭容器气体基设备单独作增压泵扩散泵分子泵前级泵该型泵广泛应冶金机械电子化工石油医药等行业真空冶炼真空镀膜真空热处理真空干燥等工艺程中
3 2XZ型旋片式真空泵
具结构紧凑体积重量轻噪音低振动等优点适作扩散泵前级泵更适精密仪器配套实验室例：质谱仪器冰箱流水线真空冷冻干燥机等
4 ZJH系列罗茨真空泵
种旋转式变容真空泵须前级泵配合方较宽压力范围较抽速抽气体中含灰尘水蒸汽敏感广泛冶金化工食品电子镀膜等行业真空机组泵单独需前级泵辅助：水环式真空泵滑阀真空泵立式油真空泵分子真空泵等罗茨真空泵保持纪录10000LS生产企业海益化真空设备限公司（成功运中国石化集团）
5 JZJH2H罗茨滑阀真空机组
罗茨真空泵滑阀真空泵串联组成滑阀真空泵作预抽真空泵罗茨真空泵前级真空泵罗茨真空泵左右抽真空泵罗茨真空泵滑阀真空泵抽速选择真空机组长期工作真空度真空机组长期工作区间低真空宜选择较抽速（2：14：1）果真空机组长时间高真空工作选择较抽速（4110：1）
6 JZJHX型罗茨——旋片泵机组
JZJHX型罗茨旋片泵机组罗茨泵泵旋片泵前泵串联成结构紧凑操作方便抽空气凝性腐蚀性气体广泛应需抽速高真空种真空系统中：真空冶炼电力电容器变压器真空浸渍处理真空镀膜设备中预抽等
7 JZJHS型罗茨——水环泵机组
机组采水环泵作前级泵特适抽含量水蒸气带定腐蚀性凝性气体工艺程中：真空蒸馏蒸发脱水结晶干燥等工艺程中
8 JZJHBA型罗茨——水环泵机组
机组采水环泵作前级泵特适抽含量水蒸气带定腐蚀性凝性气体工艺程中：真空蒸馏蒸发脱水结晶干燥等工艺程中 水环泵工作原理图图 22
图 22
23真空泵原
（1）根真空室没工作时达极限真空度确定泵类型应注意泵极限真空度应真空室极限真空度高出05～1数量级种空泵工作压强范围表21
表 21
表22工业常真空泵佳工作范围
名称
佳工作范围（Pa）
抽风机械泵
1×105133
水蒸气喷射泵
1×106～133×102
罗洪泵
133×102～133
油扩散泵
665×102～104
（2）根抽气体种类性质种气体占例气体中灰尘等情况选泵例复式真空泵适粗低真空范围排气量抽气体中含少量水蒸汽灰尘时水环泵适粗真空范围排气量较抽气体中含量水蒸汽灰尘时够油封式机械真空泵单独抽空做某系前级泵工作环境温度超480C抽含灰尘泵油产生化学反应气体机械增压泵（罗茨泵）启动快反油现象抽含量水蒸汽气体排含灰尘气体般情况罗茨泵气体宜接排气中工作时必须前级泵性带前级泵着密切关系油增民泵油扩议泵油蒸气流系分子量较气体（H 2 ）抽吸力较强油蒸气流系气体宜接排入气工作前必须预真空环境排气前级泵出口处造成压强低油蒸气流泵出口反压强该系正常工作油蒸气流系抽吸泵体腐蚀作泵油产生化学反应气体应特指出流体喷射泵（水蒸汽喷射泵水喷射泵等）具抽气量工作真空度范围宽抽介质特殊求结构简单综合利种废气废水废液余等特点化工真空系统越越应
（3）根真空室工作时需工作压强室温度排气量选泵种泵极限真空度佳抽速压强范围（见泵特性曲线）真空室工作压强定保证选泵佳抽速压强范围表2～2列出工业常种泵佳抽速压强范围
（4）根真空室抽气时间选泵真空室系统抽极限真空时间影响抽气时间求定时真空室越泵选否抽气时间延长
（5）根初次投资日常维护费等济指标选泵设计真空系统时两种方案选考虑济指标例油增压泵系统罗茨泵系统成套设备133～0133Pa 压强采油增压泵系统费低压强183～133Pa时采罗茨泵系统较济外根现场条件选泵选水蒸汽喷射泵时现成蒸汽源济性差
第3章 真空吸附转移系统工作程分析机构介绍工作原理
31真空系统组成
真空应设备种类繁种真空应设备套排抽容器气体抽气系统便真空容器获需真空条件举例说：真空处理容器道阀门真空泵连接起真空泵容器进行抽空时容器真空测量装置构成简单真空抽气系统(图
31)
图31示简单真空系统抽容器获低真空范围真空度需获高真空范围真空度时通常图1示真空系统中串联高真空泵串联高真空泵通常高真空泵入口出口分加阀门便高真空泵单独保持真空果串联高真空泵油扩散泵防止量油蒸气返流进入抽容器通常油扩散泵入口加捕集器——水冷障板(图32示)根求路中加尘器真空继电器规头真空软连接道真空泵入口放气阀等等样构成较完善高真空系统
图31 真空系统组成
图32
1 抽空容器 2真空测量规 3阀
4予真空道阀 5前级道阀 6软连接道
7放气阀 8前级泵 9泵（油扩散泵） 10水冷隔板
两真空泵串联组成真空系统通常抽低真空泵做级高真空泵前级泵(称前置泵)高级真空泵做该真空系统泵泵抽容器中极限真空度工作真空度泵确定抽容器出口泵入口间路称高真空路泵入口处阀门称阀
通常前级泵兼作予真空抽气泵抽容器予抽泵间路称予真空路该路阀门称予真空道阀泵出口前级泵入口间路称前级道该路阀门称前级道阀软连接道隔离前级泵振动设置
总起说较完善真空系统列元件组成： 1．抽气设备：例种真空泵 2．真空阀门3．连接道4．真空测量装置：例真空压力表种规 5．元件：例捕集器尘器真空继电器规头储气罐等
32转移机构组成
转移机构吸附盒吸附皮带900转移鼓构成产品通吸附皮带传送达900转移鼓1号鼓2号鼓吸附达转移鼓3转移鼓3（图35）产品原转横传送便包装吸附盒图33工艺流程图图34
图33真空吸附盒
图34 转移机构工艺流程图
图35 真空转移3号鼓部结构图
33 工作程分析
331转移机构结构
产品真空吸附盒号鼓900吸附号鼓外壳传动14真空吸附腔吸附腔外接离心式风机进行抽气吸附接着二号鼓900吸附二号鼓鼓座鼓面转移机构吸风系统组成二号鼓12真空腔真空腔接滤网真空泵进行真空吸附转移鼓3转移鼓1真空腔称二号鼓部机构
（图36）半部分密封真空圈三道分接真空泵提供真空吸附低气压产品八爪吸附旋转2实现900转移工艺流程二号鼓分圆盘外转盘圆盘固定（图37）外转盘连接轴承通皮带传动逆时针旋转时转盘八爪子旋转爪子空心轴承连接楔块底部滑轮固定圆盘外圈900斜轨道实现八爪1800旋转
图36 90度转移鼓部结构图
图37 90度转移鼓固定转导轨结构图
产品八爪子吸附真空泵吸住实现旋转真空泵物体吸附时实际泵吸盘抽真空吸住物体必须选择真正意义真空泵理计算吸附力方法：
F≈102（101－P绝压力）S吸盘面积 式中
F：理吸附力单位：Kgf（公斤力）
P绝压力：真空泵绝真空度单位取：KPa（千帕）
S吸盘面积：吸盘效面积单位取：cm2（方厘米）
式吸附力理泵流量关实际中流量参数相关原：气路系统做理密封总定泄漏种情况真空泵流量越泄漏量占例越越利泵维持较高真空度更吸附力2台极限真空度相泵A泵流量1 LminB泵流量20 Lmin样01 Lmin泄漏情况A泵真空度会降低01 Lmin泄漏言太01 Lmin泄漏B泵说算什然维持较高真空度然二者真空度相实际中B泵产生吸附力更
泵选型时必须时考虑真空度流量两指标重视真空度指标切实际
332真空吸附转移流水线中应
实际生产中该系统作进行产品90度转移传递转变横传递便包装工艺流程图38
真空吸附盒
真空吸附转移系 统
图 38 产品横行转变
第4章 真空吸附转移系统常见障处理方法
41真空吸附转移系统常见障
1 六爪模块松动
模块固定螺丝没紧固调整模块紧固螺丝
2 模块轴间隙松动
a) 轴承间隙
b) 连接块键键槽磨损
c) 转导轨磨损
d) 连接块固定螺丝松动
3 模块转移900
检查模块轴承否松动转导轨滚动轴承否磨损
4 号鼓三号鼓真空够
检查真空道否漏气堵塞
42实际生产中常见障处理方法
1 设备障原消方法
现象
原
消方法
产品转移掉片转移90度
1 真空吸附够
2 模块吸附
1 检查真空泵滤网否堵
2 检查转移鼓密封毛毡 否磨损漏气
3 清洁模块轴孔模块真空孔
4 清洁模块异物
5 检查模块否漏气变形
产品转移偏移摆动
1 模块轴磨损间隙
2 更换连接块尺寸差异
1 更换磨损模块轴
2 更换键
3 选择统规格连接块统更换
产品号三号鼓处没吸牢掉片
1 三号鼓吸附真空够
1 检查真空道否赌塞
2 检查吸附鼓行腔毛毡否磨损
3 检查吸附区否偏移
4 检查吸附皮带转移鼓否异物
第5章 真空系统正确维护
真空系统结构紧凑工作稳操作简便省力等优点广泛应工业生产果维护会提高障发生率严重影响机械性寿命必谈谈正确维护真空系统方法
51 正确油保持真空系统清洁
根资料统计证明真空系统产生障原70％～85％系统密封引起真空系统种道阀类元件部件间光洁度高配合面密封元件设阻尼孔缝隙式控制阀口果道中混杂质会堵塞真空道阻碍气流运动破坏真空元件正常工作杂质进阀破坏阀芯阀体配合面卡中间造成阀密封严动作灵油液中污物会堵塞滤油器系统受阻保持真空系统清洁维护真空系统关键应做点：
1 真空设备油密封条件保质期达三年
2 油品应存放阴凉干燥处
3 油桶开剩余油应盖密封盖时快完剩余部分切勿混入粉末液体杂质
4 环境工具应保持干净溶剂清洗应烘干
5 根真空泵结构精度环境应选相应精度品质油品
52 真空泵换油方法
泵系统拆干净方盘接放油孔旋注油塞放油塞放出污油断续启动电机 4～6 真空室油全部排出然抽气加入干净真空泵油 200~300CC 断续启动电动机次清洗真空室样 2～3 次重复清洗放光清洗油旋放油塞注油塞处加入干净真空泵油视窗口中心位置旋紧注油塞漏气
换油油温升高进行泵严禁煤油汽油酒精等作非拆清洗时注意保护进气口检查滤网防止灰尘杂质进入泵弄污泵油损坏真空室
1 真空泵换油产生问题排方法：
问题
处理方法
泵出气口喷油现象
油加减少油加入量
进气口长时间抽气
应加避免
泵出气口雾现象
检查进气口部分否漏气
真空度偏低
泵腔油中否混入轻质液体新换油应适运转段时间
检查泵密封部分否漏气现象
校检测仪表
2 扩散泵 油增压泵换油注意事项：
选品质油品 换油时应全部倒出旧油 溶剂汽油专清洗剂清洗泵全部零件丙酮乙谜擦干放烤箱中烘干吹风机吹干 原部位安装泵外零件喷嘴应泵腔中部 操作者应手戴白纱脱脂手套装配求量倒入扩散泵油增压泵油
扩散泵中产生问题排方法：
3 真空度偏低：
检查前级真空检查冷水否畅通水温否偏高 冷水没部分堵塞电炉丝功率偏偏供电电压否偏低喷油嘴装配正确 规测量准确 仪表导线正常真空系统否漏气工作室长期残留镀层否太厚 操作引起油品快氧化变红变黑： 检查工作否忘记开冷水真空系统存较严重漏气 扩散泵工作时气进入扩散泵 工作室挥发气体灰尘进入泵腔
53加强真空系统日常维护保养
真空系统发生障时事前会出现异常现象认真严格日常检查保养时发排障预防事发生具重意义应重视加强日常检查保养容：
（1）真空系统工作前应仔细检查紧固件接头松脱道变形损伤等
（2）真空泵开始运转时采取连续运转方法（尤寒冷区）观察运转否灵活确认运转正常异常响声时进工作
（3）工作装置真空系统分配阀真空度果超低规定值应进行调整
（4）真空系统进稳定工作状况时注意真空度压力声音等情况外应注意观电动机气压表换阀元件工作情况
第6章 总结
着科技断发展真空系统发展更高层次发展中基技术原真空系统维护工作应注意点：
1 真空系统基础部分必须深刻解基原理基构造维护方法充足解认识
2 新型真空系统定认识解原理发生障时快速解问题解决问题
3 真空系统日常保养样非常重样出现隐患消灭萌芽状态出现障时时处理掉
4 工作中应时记笔记出现问题时记分析解决记录日常余暇样出现类问题时快速解决掉
5 段实程中实践思考学问长足进步够真空系统方面难题未工作中会更学
答谢词
历年毕业设计结束敬请位老师设计程作检查次毕业设计中通参考查阅种关真空技术资料请教指导老师相关专业问题特真空系统实际中遇具体问题短暂时间里真空系统认识质飞跃真空泵维护产品工艺流程工艺参数计算产品缺陷解决办法转移结构设计零部件设计等进步理解掌握真空技术社会生活中运非常广泛掌握真空系统设计方法工作发展着十分重意义
陌生开始接触解熟悉学事物必般程真空技术认识程年努力相信次毕业设计定三年学生涯划圆满句号事业奠定坚实基础
次设计程中指导老师许学帮助受益匪浅关心指导位老师帮助学表示衷心感谢感谢位老师三年里细心教导感谢母校提供样学机会生道路会继续发扬学校手脑双手万
教育理念相信样理念定会取更成功
学生：
20XX年X月
参考资料：
[1]刘旭东王威叶文柄吴沛荣编著真空设备真空材料计算设计北方工业出版社20077
[2] 张忱编真空技术应华中科技学出版社20054
[3] 张付英徐燕申模块化设计技术边缘位置控制应J液压气动机械工业出版社20068
[4] 陆敏编物理吸附真空系统系统设计海石油化工研究院200508
[5] 张利MRHorgan轻工机械20068
[6]尹荣肖跃加编真空吸盘抓取器设计华中理工学 19994
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毕 业 文
课题名称
真空吸附转移系统维护
院专 业
机械工程系机电体化
班 级
机 电
学 号
学生姓名
指导教师：
彭
20XX 年 X 月 X 日
真空吸附转移系统应维护
机 电
摘
现代工业生产程中真空吸附技术量运国领域长足发展 真空吸附转移系统包括真空获装置转移机构真空系统部分真空吸附系统维护生产程中重组成部分
真空吸附系统维护定期维护日常维护组成维护程量解决问题真空吸附系统应充足解课题介绍典型真空吸附转移系统工作原理工艺流程真空获取维修维护方办法应课题研究具重现实意义
关键词：真空泵转移机构维护
Abstract
In the modern industrial production process the vacuum transfer technology obtained the massive utilization but our country also obtained the considerable development in this domain The vacuum transfer technology mainly includes the vacuum system the transfer system as well as the machine part Therefore to the vacuum transfer system maintenance also is in the production process important constituent
The vacuum transfer system maintenance is composed by the maintenance routine and the routine maintenance In order to as far as possible solves the problem in the maintenance process should have the sufficient understanding to the vacuum transfer system but this topic was mainly introduced the model vacuum transfer system transfer system as well as the service maintenance main direction as well as the means should this topic research have the vital practical significance
Key words Vacuum pumpTransfer systemMaintenance
目录
第1章 概述 5
11 真空技术工业领域应 5
111真空技术冶金工业 5
112 真空技术电子工业 5
113真空技术机械制造 6
12国真空吸附技术产业发展基估计 7
13国真空吸附技术产业化发展战略思考 8
131 战略考虑 8
132 发展策略 8
第2章 常见真空获方式介绍 9
21真空泵机械原理应 9
211 真空泵生产中应 9
212 真空泵机械原理 9
22 真空泵机械分类 10
221粗真空系列 11
222高真空系列 12
23真空泵原 14
第3章 真空吸附转移系统工作程分析机构介绍工作原理 16
31真空系统组成 16
32转移机构组成 18
33 工作程分析 20
331转移机构结构 20
332真空吸附转移流水线中应 22
第4章 真空吸附转移系统常见障处理方法 23
41真空吸附转移系统常见障 23
42实际生产中常见障处理方法 23
第5章 真空系统正确维护 25
51 正确油保持真空系统清洁 25
52 真空泵换油方法 25
53加强真空系统日常维护保养 26
第6章 总结 28
答谢词 29
参考资料： 30
第1章 概述
11 真空技术工业领域应
真空吸附技术应传统制造业带革命性变化制造业成工业化象征着真空吸附技术断发展应领域扩重行业（冶金工业机械制造电子工业
等）发展起着越越重作行业中真空技术起举足轻重作目前世界真空技术应领域发展趋势研究热点方面
111真空技术冶金工业
钢液真空处理真空冶金重方面炉转炉电炉气熔炼钢液方式置真空环境中脱气排出害杂质进行合金化程目前种装置世界国已成现代化钢铁企业基组成部分例美国西德日苏联等国轴承钢电工钢优质型锻件100进行真空脱气处理作国家标准
着现代科学技术发展特航空航天技术军工生产金属材料技术断提高更离开真空技术真空冶炼真空冶金重分支精确控制产品化学成分提高产品纯洁度改善产品铸态组织真空感应熔炼种成熟真空熔炼方法生产供二次真空耗电极精密制造零件型真空感应炉生产优质特殊钢垫冷坩埚熔炼称感应壳熔炼特点避免未耐火材料坩埚带污染污染熔炼活泼金属难溶金属真空电弧重熔种成熟真空重熔技术生产钛基镍基钴基等活泼金属钨钼等难熔金属型炉子重熔特殊钢着空间技术半导体工业迅速发展电子束重熔进展熔炼范围业已难熔金属扩展半导体材料具特殊途钢种熔炼
112 真空技术电子工业
着微电子技术发展电子元器件电路尺寸越越集成度越越高促真空技术微电子技术关系更密切成门缺少技术
报道日真空厂商销售额中23面电子工业中半面集成电路代集成电路制造工艺中半工艺真空环境进行超规模集成电路约34工序需真空条件进行超规模集成电路关键技术微细加工技术图形结构形成电子束曝光X射线曝光远紫外线曝光离子束曝光等技术亚微米线宽必须采干法刻蚀技术包括离子束刻蚀等离子刻蚀反应离子刻蚀反应等离子刻蚀超薄层生长技术包括蒸发溅射化学气相沉积（CVD）等离子体（CVD）机金属（CVD）分子束外延等精确控制掺杂里离子束注入技术述工艺装置般具两特点：装置动化程度较高二需高质量真空环境检测诊断方面高电子衍射低电子衍射间歇电子谱仪二次离子谱仪求超高真空环境工作
113真空技术机械制造
1 真空热处理
真空热处理真空技术热处理工艺相结合产物具易氧化易脱碳表面光滑变形量污染节等优点发展十分迅速真空热处理仅处理活泼难熔金属高速钢工具钢模具钢轴承钢耐热钢等淬火回火固熔处理退火方面均广泛途例工具钢真空淬火变形量盐浴淬火工具13～15真空淬火工具加工工件表面粗糙度优盐浴淬火工具1～2级工具寿命提高3～4倍
2 真空钎焊
真空钎焊铝合金高温合金难熔金属硬质合金陶瓷等焊性差材料连接例气体分离设备石油化工设备中枚式换热器全部铝合金材料制成具体积重量轻效率高结构紧凑耐等优点立方米体积枚式换热面积1000方米绕式列式换热器相体积重量仅占14左右未真空钎剂铝钎焊盐炉钎焊相产品质量成低生产周期短腐蚀焊清洗省电75～80真空铝钎焊工艺成熟发展目前国外汽车飞机热交换器已采种先进工艺
3 真空涂层刀具
十年利物理气相沉淀（PVD）高速钢刀具镀Tin十分盛行称刀具革命刀具离子镀方法中发展较快电弧离子镀采电弧放电方法固体阴极靶材直接蒸发金属蒸发钛靶接阴极真空室阳极触发电机阴极靶突然脱离时引起电弧阴极表面产生强烈发光阴极斑点斑点材料瞬时蒸发电离电弧离子镀优点沉寂速度高沉池阴极靶根工件形状意方布置夹具简化
12国真空吸附技术产业发展基估计
究竟什真空系统句话概括：获特定求真空度抽气系统真空系统设计基容：根抽容器真空度求选择适真空系统设计方案进行选配泵计算确定导阀门捕集器真空测量元件等进行合理配置划出真空系统装配图零部件图
真空吸附里般真空成型：指成型模具模模开出抽真空细孔利真空产生压力皮面模具更紧密贴合产品外观更符合设计求成型方法果PP泡沫层胶面需加热体果PP泡沫层没涂布胶面成型前需体预粘接面喷涂粘接剂
应注意点：
1．真空成型时空气压力材料强度原细圆弧难成型皮面花纹般会选择花纹选择细密花纹会伤脑筋哦
2．空气压力分布均匀性产品局部剥离强度样耐寒耐热试验实际中许会发生脱胶剥离现象
3 易发生漏气现象真空模具制造时模具边缘处重点尺寸求部位气孔排布考虑时成型果工序允许应添加手工修整员极提高产品品质
4．真空成型工艺体高度变化较时成型效果高度尺寸变化较部位易成型失败应面板类表面成型
说说进行真空成型超音波焊接工序排列问题真空成型时产品摆放位置求严格果先超音波焊接真空成型会产生较次品毕竟超音波焊接尺寸公差求宽松保证尺寸精度情况进行真空成型现实时超音波焊接设备相真空成型设备简单占产品完成表皮成型初步外观检测通进入道工序较济避免工设备资源浪费外模具制造角度考虑外形越简单模具芯制造成越低焊接导轨产品外形变复杂模具造价会升果式样费增加点
13国真空吸附技术产业化发展战略思考
131 战略考虑
国制造国世界产业转移中量接受前端端转移掌握先进制造核心技术否新轮国际产业结构调整中国制造业进步空芯资源环境市场代价交换仅仅世界新济格局中国际加工中心组装中心非掌握核心技术制造中心位样会严重影响国现代制造业发展进程
应站国家安全战略高度重视真空技术产业问题首先社会安全制造业国业口行业制造业发展仅提高民生活水缓解国业压力保障社会稳定次国防安全西方发达国家高精尖真空产品列国家战略物质国实现禁运限制东芝事件考克斯报告例证
132 发展策略
国基国情角度出发国家战略需求国民济市场需求导提高国制造装备业综合竞争力产业化水目标系统方法选择够导21世纪初期国制造装备业发展升级关键技术支持产业化发展支撑技术配套技术作研究开发容实现制造装备业跨跃式发展
强调市场需求导真空终端产品整机（量面广真空系统铣床高速高精高性真空系统典型数字化机械重点行业关键设备等）带动真空技术产业发展重点解决真空系统相关功部件（数字化伺服系统电机高速电轴系统新型装备附件等）性生产规模问题没规模会高性产品没规模会价格低廉富竞争力产品然没规模中国真空装备终难出头日
高精尖装备研发方面强调产学研终户紧密结合做出卖掉目标国家意志实施攻关解决国家急需
竞争前真空技术方面强调创新强调研究开发具知识产权技术产品国真空技术产业装备制造业整制造业持续发展奠定基础 着科学技术发展 真空系统具优越加工特点 机械制造业中应越越广泛 现代工必须掌握真空技术发展趋势策
第2章 常见真空获方式介绍
21真空泵机械原理应
211 真空泵生产中应
真空泵广泛塑料机械农药化工染料化工砖瓦机械低温设备造纸机械医药化工食品机械工业电炉电子行业真空设备化肥冶金石油矿山基处理等领域
2BA型水环式真空泵满足真空泵带水吸气求原SKF型2FA型水环式真空泵基础行开发研制成新代水环式真空泵设计先进结构新颖适种较苛刻复杂应领域抽吸含量水气凝汽介质抽吸易燃易爆毒腐蚀性气体时易发生危险广泛应机械石油化工电力制药食品陶瓷制糖印染冶金塑料瓦砖皮革等行业特适塑料配套2BA型水环式真空泵分取代SZSK2SK32SK62S1852SK230W型复式真空泵
程中常碰输送化学气体需引进耐腐蚀真空泵新概念利陶瓷锈钢合金等特殊介质做流部分真正符合通常耐磨耐酸耐碱耐高温求
212 真空泵机械原理
GG－17玻璃膨胀系数低更耐受高温度差变该泵型泵受起高温寿命更长该泵适电子工业电子显X光半导体单晶硅冶炼提纯高沸点油脂蒸馏提纯分离日光灯保温瓶高真空排气仪器 先转动真空泵系统抽102Pa扩散泵油加热沸腾高速喷出油蒸汽流断系统气体分子带泵侧臂弯球泡处集结气体密度达机械真空泵工作范围抽出逐渐获高真空
水环真空泵（简称水环泵）种粗真空泵获极限真空2000~4000Pa串联气喷射器达270～670Pa水环泵作压缩机称水环式压缩机属低压压缩机压力范围1～2×105Pa表压力
水环泵初作吸水泵逐渐石油化工机械矿山轻工医药食品等许工业部门工业生产许工艺程中真空滤真空引水真空送料真空蒸发真空浓缩真空回潮真空脱气等水环泵广泛应真空应技术飞跃发展水环泵粗真空获方面直重视水环泵中气体压缩等温抽易燃易爆气体外抽含尘含水气体水环泵应日益增
泵体中装适量水作工作液叶轮时针方旋转时水叶轮抛四周离心力作水形成决定泵腔形状似等厚度封闭圆环水环部分表面恰叶轮轮毂相切水环部表面刚叶片顶端接触（实际叶片水环定插入深度）时叶轮轮毂水环间形成月牙形空间空间叶轮分成叶片数目相等干腔果叶轮部0°起点叶轮旋转前180°时腔容积变端面吸气口相通时气体吸入吸气终时腔吸气口隔绝叶轮继续旋转时腔变气体压缩腔排气口相通时气体便排出泵外综述水环泵泵腔容积变化实现吸气压缩排气属变容式真空泵
罗茨泵泵腔二8字形转子相互中真空泵需前级泵罗茨泵极限真空取决泵身结构制造精度外取决前级泵极限真空提高泵极限真空度罗茨泵串联
罗茨泵工作原理罗茨鼓风机相似转子断旋转抽气体进气口吸入转子泵壳间空间v0排气口排出吸气v0空间全封闭状态泵腔气体没压缩膨胀转子顶部转排气口边缘v0空间排气侧相通时排气侧气体压强较高部分气体返空间v0中气体压强突然增高转子继续转动时气体排出泵外
22 真空泵机械分类
工作原理基分气体输送泵气体捕集泵两种类型气体输送泵包括：液环真空泵（水环式真空泵）复式真空泵旋片式真空泵定片式真空泵滑阀式真空泵余摆线真空泵干式真空泵罗茨真空泵分子真空泵牵引分子泵复合式真空泵水喷射真空泵气体喷射泵蒸汽喷射泵扩散泵等气体捕集泵包括：吸附泵低温泵等工业中应水环式真空泵旋片式真空泵等真空度分：粗真空高真空超高真空三类真空度级图21
图 21
221粗真空系列
1 2SKSK系列双级水环式真空泵
抽空气定腐蚀性溶水允许含少量固体颗粒气体广泛食品纺织医药化工等行业真空蒸发浓缩浸渍干燥等工艺程中该型泵具真空度高结构简单方便工作维护方便特点
2 2BA2BV系列水环式真空泵
粗真空抽气量工艺程中抽空气腐蚀溶水含少量固体颗粒气体便密闭容器中形成真空吸气体中允许混少量液体广泛应机械制药食品石油化工等行业中
3 W型复式真空泵
获粗真空真空设备广泛应化工食品建材等部门特真空结晶干燥滤蒸发等工艺程中更适宜
4 WLW型立式油真空泵
WLW型油(耐腐蚀)立式复真空泵W型卧式真空泵更新换代产品获粗真空设备采全密封装置实现曲轴箱汽缸完全隔离加活塞环润滑材料便实现先进油润滑污水排放该型真空泵特适化工医药食品等行业真空蒸馏真空蒸发真空干燥真空浓缩真空浸渍等工艺程中
222高真空系列
1 H2H型滑阀式真空泵
广泛应真空拉晶真空镀膜真空冶金真空热处理真空浸渍真空干燥真空蒸馏真空练泥航空航天模拟试验等新材料新技术新工艺生产研制中
滑阀真空泵单独作罗茨真空泵油增压泵油扩散泵前级泵抽吸黑色金属腐蚀真空油起化学反应含量蒸汽量粉尘气体时需附加装置 优点：相旋片式真空泵耐5倍取代
旋片真空泵趋势价格相高点
2 2X型旋片式真空泵
抽密闭容器气体基设备单独作增压泵扩散泵分子泵前级泵该型泵广泛应冶金机械电子化工石油医药等行业真空冶炼真空镀膜真空热处理真空干燥等工艺程中
3 2XZ型旋片式真空泵
具结构紧凑体积重量轻噪音低振动等优点适作扩散泵前级泵更适精密仪器配套实验室例：质谱仪器冰箱流水线真空冷冻干燥机等
4 ZJH系列罗茨真空泵
种旋转式变容真空泵须前级泵配合方较宽压力范围较抽速抽气体中含灰尘水蒸汽敏感广泛冶金化工食品电子镀膜等行业真空机组泵单独需前级泵辅助：水环式真空泵滑阀真空泵立式油真空泵分子真空泵等罗茨真空泵保持纪录10000LS生产企业海益化真空设备限公司（成功运中国石化集团）
5 JZJH2H罗茨滑阀真空机组
罗茨真空泵滑阀真空泵串联组成滑阀真空泵作预抽真空泵罗茨真空泵前级真空泵罗茨真空泵左右抽真空泵罗茨真空泵滑阀真空泵抽速选择真空机组长期工作真空度真空机组长期工作区间低真空宜选择较抽速（2：14：1）果真空机组长时间高真空工作选择较抽速（4110：1）
6 JZJHX型罗茨——旋片泵机组
JZJHX型罗茨旋片泵机组罗茨泵泵旋片泵前泵串联成结构紧凑操作方便抽空气凝性腐蚀性气体广泛应需抽速高真空种真空系统中：真空冶炼电力电容器变压器真空浸渍处理真空镀膜设备中预抽等
7 JZJHS型罗茨——水环泵机组
机组采水环泵作前级泵特适抽含量水蒸气带定腐蚀性凝性气体工艺程中：真空蒸馏蒸发脱水结晶干燥等工艺程中
8 JZJHBA型罗茨——水环泵机组
机组采水环泵作前级泵特适抽含量水蒸气带定腐蚀性凝性气体工艺程中：真空蒸馏蒸发脱水结晶干燥等工艺程中 水环泵工作原理图图 22
图 22
23真空泵原
（1）根真空室没工作时达极限真空度确定泵类型应注意泵极限真空度应真空室极限真空度高出05～1数量级种空泵工作压强范围表21
表 21
表22工业常真空泵佳工作范围
名称
佳工作范围（Pa）
抽风机械泵
1×105133
水蒸气喷射泵
1×106～133×102
罗洪泵
133×102～133
油扩散泵
665×102～104
（2）根抽气体种类性质种气体占例气体中灰尘等情况选泵例复式真空泵适粗低真空范围排气量抽气体中含少量水蒸汽灰尘时水环泵适粗真空范围排气量较抽气体中含量水蒸汽灰尘时够油封式机械真空泵单独抽空做某系前级泵工作环境温度超480C抽含灰尘泵油产生化学反应气体机械增压泵（罗茨泵）启动快反油现象抽含量水蒸汽气体排含灰尘气体般情况罗茨泵气体宜接排气中工作时必须前级泵性带前级泵着密切关系油增民泵油扩议泵油蒸气流系分子量较气体（H 2 ）抽吸力较强油蒸气流系气体宜接排入气工作前必须预真空环境排气前级泵出口处造成压强低油蒸气流泵出口反压强该系正常工作油蒸气流系抽吸泵体腐蚀作泵油产生化学反应气体应特指出流体喷射泵（水蒸汽喷射泵水喷射泵等）具抽气量工作真空度范围宽抽介质特殊求结构简单综合利种废气废水废液余等特点化工真空系统越越应
（3）根真空室工作时需工作压强室温度排气量选泵种泵极限真空度佳抽速压强范围（见泵特性曲线）真空室工作压强定保证选泵佳抽速压强范围表2～2列出工业常种泵佳抽速压强范围
（4）根真空室抽气时间选泵真空室系统抽极限真空时间影响抽气时间求定时真空室越泵选否抽气时间延长
（5）根初次投资日常维护费等济指标选泵设计真空系统时两种方案选考虑济指标例油增压泵系统罗茨泵系统成套设备133～0133Pa 压强采油增压泵系统费低压强183～133Pa时采罗茨泵系统较济外根现场条件选泵选水蒸汽喷射泵时现成蒸汽源济性差
第3章 真空吸附转移系统工作程分析机构介绍工作原理
31真空系统组成
真空应设备种类繁种真空应设备套排抽容器气体抽气系统便真空容器获需真空条件举例说：真空处理容器道阀门真空泵连接起真空泵容器进行抽空时容器真空测量装置构成简单真空抽气系统(图
31)
图31示简单真空系统抽容器获低真空范围真空度需获高真空范围真空度时通常图1示真空系统中串联高真空泵串联高真空泵通常高真空泵入口出口分加阀门便高真空泵单独保持真空果串联高真空泵油扩散泵防止量油蒸气返流进入抽容器通常油扩散泵入口加捕集器——水冷障板(图32示)根求路中加尘器真空继电器规头真空软连接道真空泵入口放气阀等等样构成较完善高真空系统
图31 真空系统组成
图32
1 抽空容器 2真空测量规 3阀
4予真空道阀 5前级道阀 6软连接道
7放气阀 8前级泵 9泵（油扩散泵） 10水冷隔板
两真空泵串联组成真空系统通常抽低真空泵做级高真空泵前级泵(称前置泵)高级真空泵做该真空系统泵泵抽容器中极限真空度工作真空度泵确定抽容器出口泵入口间路称高真空路泵入口处阀门称阀
通常前级泵兼作予真空抽气泵抽容器予抽泵间路称予真空路该路阀门称予真空道阀泵出口前级泵入口间路称前级道该路阀门称前级道阀软连接道隔离前级泵振动设置
总起说较完善真空系统列元件组成： 1．抽气设备：例种真空泵 2．真空阀门3．连接道4．真空测量装置：例真空压力表种规 5．元件：例捕集器尘器真空继电器规头储气罐等
32转移机构组成
转移机构吸附盒吸附皮带900转移鼓构成产品通吸附皮带传送达900转移鼓1号鼓2号鼓吸附达转移鼓3转移鼓3（图35）产品原转横传送便包装吸附盒图33工艺流程图图34
图33真空吸附盒
图34 转移机构工艺流程图
图35 真空转移3号鼓部结构图
33 工作程分析
331转移机构结构
产品真空吸附盒号鼓900吸附号鼓外壳传动14真空吸附腔吸附腔外接离心式风机进行抽气吸附接着二号鼓900吸附二号鼓鼓座鼓面转移机构吸风系统组成二号鼓12真空腔真空腔接滤网真空泵进行真空吸附转移鼓3转移鼓1真空腔称二号鼓部机构
（图36）半部分密封真空圈三道分接真空泵提供真空吸附低气压产品八爪吸附旋转2实现900转移工艺流程二号鼓分圆盘外转盘圆盘固定（图37）外转盘连接轴承通皮带传动逆时针旋转时转盘八爪子旋转爪子空心轴承连接楔块底部滑轮固定圆盘外圈900斜轨道实现八爪1800旋转
图36 90度转移鼓部结构图
图37 90度转移鼓固定转导轨结构图
产品八爪子吸附真空泵吸住实现旋转真空泵物体吸附时实际泵吸盘抽真空吸住物体必须选择真正意义真空泵理计算吸附力方法：
F≈102（101－P绝压力）S吸盘面积 式中
F：理吸附力单位：Kgf（公斤力）
P绝压力：真空泵绝真空度单位取：KPa（千帕）
S吸盘面积：吸盘效面积单位取：cm2（方厘米）
式吸附力理泵流量关实际中流量参数相关原：气路系统做理密封总定泄漏种情况真空泵流量越泄漏量占例越越利泵维持较高真空度更吸附力2台极限真空度相泵A泵流量1 LminB泵流量20 Lmin样01 Lmin泄漏情况A泵真空度会降低01 Lmin泄漏言太01 Lmin泄漏B泵说算什然维持较高真空度然二者真空度相实际中B泵产生吸附力更
泵选型时必须时考虑真空度流量两指标重视真空度指标切实际
332真空吸附转移流水线中应
实际生产中该系统作进行产品90度转移传递转变横传递便包装工艺流程图38
真空吸附盒
真空吸附转移系 统
图 38 产品横行转变
第4章 真空吸附转移系统常见障处理方法
41真空吸附转移系统常见障
1 六爪模块松动
模块固定螺丝没紧固调整模块紧固螺丝
2 模块轴间隙松动
a) 轴承间隙
b) 连接块键键槽磨损
c) 转导轨磨损
d) 连接块固定螺丝松动
3 模块转移900
检查模块轴承否松动转导轨滚动轴承否磨损
4 号鼓三号鼓真空够
检查真空道否漏气堵塞
42实际生产中常见障处理方法
1 设备障原消方法
现象
原
消方法
产品转移掉片转移90度
1 真空吸附够
2 模块吸附
1 检查真空泵滤网否堵
2 检查转移鼓密封毛毡 否磨损漏气
3 清洁模块轴孔模块真空孔
4 清洁模块异物
5 检查模块否漏气变形
产品转移偏移摆动
1 模块轴磨损间隙
2 更换连接块尺寸差异
1 更换磨损模块轴
2 更换键
3 选择统规格连接块统更换
产品号三号鼓处没吸牢掉片
1 三号鼓吸附真空够
1 检查真空道否赌塞
2 检查吸附鼓行腔毛毡否磨损
3 检查吸附区否偏移
4 检查吸附皮带转移鼓否异物
第5章 真空系统正确维护
真空系统结构紧凑工作稳操作简便省力等优点广泛应工业生产果维护会提高障发生率严重影响机械性寿命必谈谈正确维护真空系统方法
51 正确油保持真空系统清洁
根资料统计证明真空系统产生障原70％～85％系统密封引起真空系统种道阀类元件部件间光洁度高配合面密封元件设阻尼孔缝隙式控制阀口果道中混杂质会堵塞真空道阻碍气流运动破坏真空元件正常工作杂质进阀破坏阀芯阀体配合面卡中间造成阀密封严动作灵油液中污物会堵塞滤油器系统受阻保持真空系统清洁维护真空系统关键应做点：
1 真空设备油密封条件保质期达三年
2 油品应存放阴凉干燥处
3 油桶开剩余油应盖密封盖时快完剩余部分切勿混入粉末液体杂质
4 环境工具应保持干净溶剂清洗应烘干
5 根真空泵结构精度环境应选相应精度品质油品
52 真空泵换油方法
泵系统拆干净方盘接放油孔旋注油塞放油塞放出污油断续启动电机 4～6 真空室油全部排出然抽气加入干净真空泵油 200~300CC 断续启动电动机次清洗真空室样 2～3 次重复清洗放光清洗油旋放油塞注油塞处加入干净真空泵油视窗口中心位置旋紧注油塞漏气
换油油温升高进行泵严禁煤油汽油酒精等作非拆清洗时注意保护进气口检查滤网防止灰尘杂质进入泵弄污泵油损坏真空室
1 真空泵换油产生问题排方法：
问题
处理方法
泵出气口喷油现象
油加减少油加入量
进气口长时间抽气
应加避免
泵出气口雾现象
检查进气口部分否漏气
真空度偏低
泵腔油中否混入轻质液体新换油应适运转段时间
检查泵密封部分否漏气现象
校检测仪表
2 扩散泵 油增压泵换油注意事项：
选品质油品 换油时应全部倒出旧油 溶剂汽油专清洗剂清洗泵全部零件丙酮乙谜擦干放烤箱中烘干吹风机吹干 原部位安装泵外零件喷嘴应泵腔中部 操作者应手戴白纱脱脂手套装配求量倒入扩散泵油增压泵油
扩散泵中产生问题排方法：
3 真空度偏低：
检查前级真空检查冷水否畅通水温否偏高 冷水没部分堵塞电炉丝功率偏偏供电电压否偏低喷油嘴装配正确 规测量准确 仪表导线正常真空系统否漏气工作室长期残留镀层否太厚 操作引起油品快氧化变红变黑： 检查工作否忘记开冷水真空系统存较严重漏气 扩散泵工作时气进入扩散泵 工作室挥发气体灰尘进入泵腔
53加强真空系统日常维护保养
真空系统发生障时事前会出现异常现象认真严格日常检查保养时发排障预防事发生具重意义应重视加强日常检查保养容：
（1）真空系统工作前应仔细检查紧固件接头松脱道变形损伤等
（2）真空泵开始运转时采取连续运转方法（尤寒冷区）观察运转否灵活确认运转正常异常响声时进工作
（3）工作装置真空系统分配阀真空度果超低规定值应进行调整
（4）真空系统进稳定工作状况时注意真空度压力声音等情况外应注意观电动机气压表换阀元件工作情况
第6章 总结
着科技断发展真空系统发展更高层次发展中基技术原真空系统维护工作应注意点：
1 真空系统基础部分必须深刻解基原理基构造维护方法充足解认识
2 新型真空系统定认识解原理发生障时快速解问题解决问题
3 真空系统日常保养样非常重样出现隐患消灭萌芽状态出现障时时处理掉
4 工作中应时记笔记出现问题时记分析解决记录日常余暇样出现类问题时快速解决掉
5 段实程中实践思考学问长足进步够真空系统方面难题未工作中会更学
答谢词
历年毕业设计结束敬请位老师设计程作检查次毕业设计中通参考查阅种关真空技术资料请教指导老师相关专业问题特真空系统实际中遇具体问题短暂时间里真空系统认识质飞跃真空泵维护产品工艺流程工艺参数计算产品缺陷解决办法转移结构设计零部件设计等进步理解掌握真空技术社会生活中运非常广泛掌握真空系统设计方法工作发展着十分重意义
陌生开始接触解熟悉学事物必般程真空技术认识程年努力相信次毕业设计定三年学生涯划圆满句号事业奠定坚实基础
次设计程中指导老师许学帮助受益匪浅关心指导位老师帮助学表示衷心感谢感谢位老师三年里细心教导感谢母校提供样学机会生道路会继续发扬学校手脑双手万
教育理念相信样理念定会取更成功
学生：
20XX年X月
参考资料：
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[2] 张忱编真空技术应华中科技学出版社20054
[3] 张付英徐燕申模块化设计技术边缘位置控制应J液压气动机械工业出版社20068
[4] 陆敏编物理吸附真空系统系统设计海石油化工研究院200508
[5] 张利MRHorgan轻工机械20068
[6]尹荣肖跃加编真空吸盘抓取器设计华中理工学 19994
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