真空泵选型
真空泵作真空室中抽气体分子降低真空室气体压力达求真空度概括讲气极高真空范围止没 种真空系统覆盖范围达产品工艺指标工作效率设备工作寿命求真空区段需选择真空系统配置达佳配置 选择真空系统时应考虑述点：
确定工作真空范围 首先必须检查确定种工艺求真空度种工艺适应真空度范围必须认真研究确定
确定极限真空度确定工艺求真空度基础检查真空泵系统极限真空度系统极限真空度决定系统佳工作真空度般讲系统极限真空度系统工作真空度低20前级泵极限真空度低50
抽气体种类抽气量
检查确定工艺求抽气种类抽气量果抽气体种类泵液体发生反应泵系统污染时必须考虑确定合适排气时间抽气程中产生气体量
真空容积
检查确定达求真空度需时间真空道流阻泄漏
考虑达求真空度定工艺求条件维持真空需抽气速率
真空泵选择计算
S2303VtLog(P1P2)
中：
S真空泵抽气速率(Ls)
V真空室容积（L）
t达求真空度需时间(s)
P1初始真空度(Torr)
P2求真空度(Torr)
例：
V500L
t30s
P1760Torr
P250Torr
S2303Vt Log(P1P2)
2303x50030xLog(76050)
354Ls
然式理计算结果干变量素未考虑进道流阻泄漏滤器流阻抽气体温度等实际应安全系数考虑
目前工业中应水环式真空泵旋片式真空泵等
般求：
1真空度真空容积介质温度容积类设备
2真空流入介质流量压力温度规律
3抽气量抽出气体介质温度
4真空设备占面积动化程度真空道规格
选真空泵时需注意事项：
1真空泵工作压强应该满足真空设备极限真空工作压强求：真空镀膜求1×105mmHg真空度选真空泵真空度少5×106mmHg通常选择泵真空度高真空设备真空度半数量级
2正确选择真空泵工作点种泵定工作压强范围：扩散泵103~107mmHg样宽压强范围泵抽速压强变化稳定工作压强范围5×104~5×106mmHg泵工作点应该选范围108mmHg长期工作钛升华泵102mmHg工作工作压强应1×105mmHg
3真空泵工作压强应排走真空设备工艺程中产生全部气体量
4正确组合真空泵真空泵选择性抽气时选种泵满足抽气求需种泵组合起互相补充满足抽气求钛升华泵氢高抽速抽氦三极型溅射离子泵（二极型非称阴极溅射离子泵）氩定抽速两者组合起便会真空装置较真空度外真空泵气压工作需预真空真空泵出口压强低气压需前级泵需泵组合起
5真空设备油污染求设备严格求油时应该选种油泵：水环泵分子筛吸附泵溅射离子泵低温泵等果求严格选择油泵加防油污染措施加冷阱障板挡油阱等达清洁真空求
6解抽气体成分气体中含含凝蒸气颗粒灰尘腐蚀性等选择真空泵时需知道气体成分针抽气体选择相应泵果气体中含蒸气颗粒腐蚀性气体应该考虑泵进气口路安装辅助设备冷凝器尘器等
7真空泵排出油蒸气环境影响果环境允许污染选油真空泵者油蒸气排室外
8真空泵工作时产生振动工艺程环境影响工艺程允许应选择振动泵者采取防振动措施
9真空泵价格运转维修费
化工手册公式查SQRT(P*M)
S抽气率 Q系统漏气量放气量T温度P系统压力 M系统气体分子量
真空计算常公式
1玻义尔定律
体积V压强PPV＝常数（定质量气体温度变时气体压强气体体积成反
P1P2＝V2V1）
2盖吕萨克定律
压强P变时定质量气体体积V绝温度T成正：（V1V2＝T1T2＝常数）
压强变时定质量气体温度升高(P降低)1℃体积原增加(缩)1273
3查理定律
气体体积V保持变定质量气体压强P绝温度T成正：P1P2＝T1T2
定体积定质量气体温度升高(降低)1℃压强原增加(减少)1273
4均**程：
λ＝(5×103)P (cm)
5抽速：
S＝dvdt (升秒) S＝QP
Q＝流量(托升秒) P＝压强(托) V＝体积(升) t＝时间(秒)
6通导： C＝Q(P2P1) (升秒)
7真空抽气时间：
气压1托抽气时间计算式： t＝8VS (验公式)
（V体积S抽气速率通常t5~10分钟选择）
8维持泵选择：
S维＝S前10
9扩散泵抽速估算：
S＝3D2 (D＝直径cm）
10罗茨泵前级抽速：
S＝(01~02)S罗 (ls)
11漏率：
Q漏＝V(P2P1)(t2t1)
Q漏－系统漏率(mmHgls) V－系统容积(l)
P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)
P2－真空室时间t达压强(mmHg)
t－压强P1升P2时间(s)
12粗抽泵抽速选择：
S＝Q1P预 (ls)
S23Vlg(PaP预)t
S－机械泵效抽速 Q1－真空系统漏气率(托升秒)
P预－需达预真空度(托) V－真空系统容积(升)
t－达P预时需时间 Pa－气压值(托）
13前级泵抽速选择：
排气口压力低气压传输泵扩散泵油增压泵罗茨泵涡轮分子泵等工作时需前级泵维持前级压力低界值选前级泵必须泵气体量排走根路中截面流量恒等原：
PnSg≥PgS Sg≥PgsPn
Sg－前级泵效抽速(ls) Pn－泵界前级压强(排气压强)(ls)
Pg－真空室高工作压强(托) S－泵工作时Pg时效抽速(ls)
14扩散泵抽速计算公式：
S＝QP＝(Kn)(Pt)(升秒)
式中：S－试泵抽气速率(ls) n－滴油柱升格数(格)
t－油柱升n格需时间(秒) P－泵口附测压强(托)
K－滴系数(托升秒) K＝V0(Ln)(Υ0Υm)+Pa△Vt
中V0－滴真空胶原始容积(升) L－滴刻度部分长度(mm)
n－滴刻度部分格数(格) Υ0－油重(克厘米3)
Υm－汞重(克厘米3) Pa－气压强(托)
△Vt－滴刻度格应容积(升格)
15旋片真空泵抽速计算公式：
S＝πZnLKv(D2d2)(24×104) (ls)
式中：Z旋片数n转速(转分)L泵腔长度D泵腔直径d转子直径(cm)Kv容积利系数(般取95％)
16O型橡胶槽深B＝07D
D橡胶直径槽宽C＝16B
17方形橡胶槽深B＝08A
A方形橡胶边长槽宽C＝167B
选真空泵时需注意列事项：
1真空泵工作压强应该满足真空设备极限真空工作压强求：真空镀膜求1×105mmHg真空度选真空泵真空度少5×106mmHg通常选择泵真空度高真空设备真空度半数量级
2正确选择真空泵工作点种泵定工作压强范围：扩散泵103~107mmHg样宽压强范围泵抽速压强变化稳定工作压强范围5×104~5×106mmHg泵工作点应该选范围108mmHg长期工作钛升华泵102mmHg工作工作压强应1×105mmHg
3真空泵工作压强应排走真空设备工艺程中产生全部气体量
4正确组合真空泵真空泵选择性抽气时选种泵满足抽气求需种泵组合起互相补充满足抽气求钛升华泵氢高抽速抽氦三极型溅射离子泵（二极型非称阴极溅射离子泵）氩定抽速两者组合起便会真空装置较真空度外真空泵气压工作需预真空真空泵出口压强低气压需前级泵需泵组合起
5真空设备油污染求设备严格求油时应该选种油泵：水环泵分子筛吸附泵溅射离子泵低温泵等果求严格选择油泵加防油污染措施加冷阱障板挡油阱等达清洁真空求
6解抽气体成分气体中含含凝蒸气颗粒灰尘腐蚀性等选择真空泵时需知道气体成分针抽气体选择相应泵果气体中含蒸气颗粒腐蚀性气体应该考虑泵进气口路安装辅助设备冷凝器尘器等
7真空泵排出油蒸气环境影响果环境允许污染选油真空泵者油蒸气排室外
8真空泵工作时产生振动工艺程环境影响工艺程允许应选择振动泵者采取防振动措施
9真空泵价格运转维修费
水环式真空泵选择
泵类型确定
泵类型工作需气量真空度排气压力定
泵工作时需注意两方面：
求高效区界真空度界排气压力区域运行
应避免真空度排气压力附运行区域运行仅效率极低工作稳定易产生振动噪音真空度较高真空泵言区域运行会发生汽蚀现象产生种现象明显标志泵噪音振动汽蚀会导致泵体叶轮等零件损坏致泵法工作
根原泵需真空度气体压力高时优先单级泵中选取果真空度排气压力较高单级泵满足者求泵较高真空度情况较气量求性曲线较高真空度时较坦选两级泵果真空度求－710mmHg选水环－气泵水环－罗茨真空机组作抽真空装置
果作真空泵选单作泵较单作泵构造简单容易制造维护高真空情况抗汽蚀性
果仅作较气量压缩机选双作泵较合适双作泵气量体积重量轻径力动衡轴容易产生疲劳断裂泵寿命较长
二根系统需气量选择真空泵
初步选定泵类型真空泵根系统需气量选泵型号
关真空泵抽速选择抽气时间计算参公司网页
面种型式水环式真空泵压缩机特特点收集利户选型
代号 特点 极限真空度
mmHg 工作真空度
mmHg 抽速范围
m3min 密封形式
sk 国设计单级水环真空泵结构简单维修方便目前国流低真空水环式真空泵 700 300~650 015~120 盘根
机械密封
2sk 国设计双级水环真空泵相两台SK水环泵串联较单级水环泵具真空度高高真空抽速较特点目前国流水环式真空泵 735 300~700 15~30 盘根
机械密封
2BV 采西门子先进技术机泵轴结构紧凑效率高真空度高性稳定逐渐代SK2SK系列04~6m3min抽速水环真空泵 735 300~700 045~833 机械密封
2BE1 采西门子先进技术效率高真空度高性稳定逐渐代SK2SK系列6~120m3min抽速水环真空泵 735
640 300~700
300~600 5~400 盘根
机械密封
SZ 50年代苏联技术效率低耗80年代初已淘汰应老户 640~700 300~650 15~27 盘根
SZB 50年代苏联技术效率低耗80年代初已淘汰应水泵引水目前已SK系列水环泵代 600 300~550 033~066 盘根
2SY 应水环压缩机排气压强06MPa 6~30 机械密封
2YK 结构基2SK系列相抽介质作工作液极限真空度抽介质饱合蒸气压改变表中极限真空度工作介质变压器油时极限真空度 755 300~720 15~30 机械密封
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真空泵作真空室中抽气体分子降低真空室气体压力达求真空度概括讲气极高真空范围止没 种真空系统覆盖范围达产品工艺指标工作效率设备工作寿命求真空区段需选择真空系统配置达佳配置 选择真空系统时应考虑述点：
确定工作真空范围 首先必须检查确定种工艺求真空度种工艺适应真空度范围必须认真研究确定
确定极限真空度确定工艺求真空度基础检查真空泵系统极限真空度系统极限真空度决定系统佳工作真空度般讲系统极限真空度系统工作真空度低20前级泵极限真空度低50
抽气体种类抽气量
检查确定工艺求抽气种类抽气量果抽气体种类泵液体发生反应泵系统污染时必须考虑确定合适排气时间抽气程中产生气体量
真空容积
检查确定达求真空度需时间真空道流阻泄漏
考虑达求真空度定工艺求条件维持真空需抽气速率
真空泵选择计算
S2303VtLog(P1P2)
中：
S真空泵抽气速率(Ls)
V真空室容积（L）
t达求真空度需时间(s)
P1初始真空度(Torr)
P2求真空度(Torr)
例：
V500L
t30s
P1760Torr
P250Torr
S2303Vt Log(P1P2)
2303x50030xLog(76050)
354Ls
然式理计算结果干变量素未考虑进道流阻泄漏滤器流阻抽气体温度等实际应安全系数考虑
目前工业中应水环式真空泵旋片式真空泵等
般求：
1真空度真空容积介质温度容积类设备
2真空流入介质流量压力温度规律
3抽气量抽出气体介质温度
4真空设备占面积动化程度真空道规格
选真空泵时需注意事项：
1真空泵工作压强应该满足真空设备极限真空工作压强求：真空镀膜求1×105mmHg真空度选真空泵真空度少5×106mmHg通常选择泵真空度高真空设备真空度半数量级
2正确选择真空泵工作点种泵定工作压强范围：扩散泵103~107mmHg样宽压强范围泵抽速压强变化稳定工作压强范围5×104~5×106mmHg泵工作点应该选范围108mmHg长期工作钛升华泵102mmHg工作工作压强应1×105mmHg
3真空泵工作压强应排走真空设备工艺程中产生全部气体量
4正确组合真空泵真空泵选择性抽气时选种泵满足抽气求需种泵组合起互相补充满足抽气求钛升华泵氢高抽速抽氦三极型溅射离子泵（二极型非称阴极溅射离子泵）氩定抽速两者组合起便会真空装置较真空度外真空泵气压工作需预真空真空泵出口压强低气压需前级泵需泵组合起
5真空设备油污染求设备严格求油时应该选种油泵：水环泵分子筛吸附泵溅射离子泵低温泵等果求严格选择油泵加防油污染措施加冷阱障板挡油阱等达清洁真空求
6解抽气体成分气体中含含凝蒸气颗粒灰尘腐蚀性等选择真空泵时需知道气体成分针抽气体选择相应泵果气体中含蒸气颗粒腐蚀性气体应该考虑泵进气口路安装辅助设备冷凝器尘器等
7真空泵排出油蒸气环境影响果环境允许污染选油真空泵者油蒸气排室外
8真空泵工作时产生振动工艺程环境影响工艺程允许应选择振动泵者采取防振动措施
9真空泵价格运转维修费
化工手册公式查SQRT(P*M)
S抽气率 Q系统漏气量放气量T温度P系统压力 M系统气体分子量
真空计算常公式
1玻义尔定律
体积V压强PPV＝常数（定质量气体温度变时气体压强气体体积成反
P1P2＝V2V1）
2盖吕萨克定律
压强P变时定质量气体体积V绝温度T成正：（V1V2＝T1T2＝常数）
压强变时定质量气体温度升高(P降低)1℃体积原增加(缩)1273
3查理定律
气体体积V保持变定质量气体压强P绝温度T成正：P1P2＝T1T2
定体积定质量气体温度升高(降低)1℃压强原增加(减少)1273
4均**程：
λ＝(5×103)P (cm)
5抽速：
S＝dvdt (升秒) S＝QP
Q＝流量(托升秒) P＝压强(托) V＝体积(升) t＝时间(秒)
6通导： C＝Q(P2P1) (升秒)
7真空抽气时间：
气压1托抽气时间计算式： t＝8VS (验公式)
（V体积S抽气速率通常t5~10分钟选择）
8维持泵选择：
S维＝S前10
9扩散泵抽速估算：
S＝3D2 (D＝直径cm）
10罗茨泵前级抽速：
S＝(01~02)S罗 (ls)
11漏率：
Q漏＝V(P2P1)(t2t1)
Q漏－系统漏率(mmHgls) V－系统容积(l)
P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)
P2－真空室时间t达压强(mmHg)
t－压强P1升P2时间(s)
12粗抽泵抽速选择：
S＝Q1P预 (ls)
S23Vlg(PaP预)t
S－机械泵效抽速 Q1－真空系统漏气率(托升秒)
P预－需达预真空度(托) V－真空系统容积(升)
t－达P预时需时间 Pa－气压值(托）
13前级泵抽速选择：
排气口压力低气压传输泵扩散泵油增压泵罗茨泵涡轮分子泵等工作时需前级泵维持前级压力低界值选前级泵必须泵气体量排走根路中截面流量恒等原：
PnSg≥PgS Sg≥PgsPn
Sg－前级泵效抽速(ls) Pn－泵界前级压强(排气压强)(ls)
Pg－真空室高工作压强(托) S－泵工作时Pg时效抽速(ls)
14扩散泵抽速计算公式：
S＝QP＝(Kn)(Pt)(升秒)
式中：S－试泵抽气速率(ls) n－滴油柱升格数(格)
t－油柱升n格需时间(秒) P－泵口附测压强(托)
K－滴系数(托升秒) K＝V0(Ln)(Υ0Υm)+Pa△Vt
中V0－滴真空胶原始容积(升) L－滴刻度部分长度(mm)
n－滴刻度部分格数(格) Υ0－油重(克厘米3)
Υm－汞重(克厘米3) Pa－气压强(托)
△Vt－滴刻度格应容积(升格)
15旋片真空泵抽速计算公式：
S＝πZnLKv(D2d2)(24×104) (ls)
式中：Z旋片数n转速(转分)L泵腔长度D泵腔直径d转子直径(cm)Kv容积利系数(般取95％)
16O型橡胶槽深B＝07D
D橡胶直径槽宽C＝16B
17方形橡胶槽深B＝08A
A方形橡胶边长槽宽C＝167B
选真空泵时需注意列事项：
1真空泵工作压强应该满足真空设备极限真空工作压强求：真空镀膜求1×105mmHg真空度选真空泵真空度少5×106mmHg通常选择泵真空度高真空设备真空度半数量级
2正确选择真空泵工作点种泵定工作压强范围：扩散泵103~107mmHg样宽压强范围泵抽速压强变化稳定工作压强范围5×104~5×106mmHg泵工作点应该选范围108mmHg长期工作钛升华泵102mmHg工作工作压强应1×105mmHg
3真空泵工作压强应排走真空设备工艺程中产生全部气体量
4正确组合真空泵真空泵选择性抽气时选种泵满足抽气求需种泵组合起互相补充满足抽气求钛升华泵氢高抽速抽氦三极型溅射离子泵（二极型非称阴极溅射离子泵）氩定抽速两者组合起便会真空装置较真空度外真空泵气压工作需预真空真空泵出口压强低气压需前级泵需泵组合起
5真空设备油污染求设备严格求油时应该选种油泵：水环泵分子筛吸附泵溅射离子泵低温泵等果求严格选择油泵加防油污染措施加冷阱障板挡油阱等达清洁真空求
6解抽气体成分气体中含含凝蒸气颗粒灰尘腐蚀性等选择真空泵时需知道气体成分针抽气体选择相应泵果气体中含蒸气颗粒腐蚀性气体应该考虑泵进气口路安装辅助设备冷凝器尘器等
7真空泵排出油蒸气环境影响果环境允许污染选油真空泵者油蒸气排室外
8真空泵工作时产生振动工艺程环境影响工艺程允许应选择振动泵者采取防振动措施
9真空泵价格运转维修费
水环式真空泵选择
泵类型确定
泵类型工作需气量真空度排气压力定
泵工作时需注意两方面：
求高效区界真空度界排气压力区域运行
应避免真空度排气压力附运行区域运行仅效率极低工作稳定易产生振动噪音真空度较高真空泵言区域运行会发生汽蚀现象产生种现象明显标志泵噪音振动汽蚀会导致泵体叶轮等零件损坏致泵法工作
根原泵需真空度气体压力高时优先单级泵中选取果真空度排气压力较高单级泵满足者求泵较高真空度情况较气量求性曲线较高真空度时较坦选两级泵果真空度求－710mmHg选水环－气泵水环－罗茨真空机组作抽真空装置
果作真空泵选单作泵较单作泵构造简单容易制造维护高真空情况抗汽蚀性
果仅作较气量压缩机选双作泵较合适双作泵气量体积重量轻径力动衡轴容易产生疲劳断裂泵寿命较长
二根系统需气量选择真空泵
初步选定泵类型真空泵根系统需气量选泵型号
关真空泵抽速选择抽气时间计算参公司网页
面种型式水环式真空泵压缩机特特点收集利户选型
代号 特点 极限真空度
mmHg 工作真空度
mmHg 抽速范围
m3min 密封形式
sk 国设计单级水环真空泵结构简单维修方便目前国流低真空水环式真空泵 700 300~650 015~120 盘根
机械密封
2sk 国设计双级水环真空泵相两台SK水环泵串联较单级水环泵具真空度高高真空抽速较特点目前国流水环式真空泵 735 300~700 15~30 盘根
机械密封
2BV 采西门子先进技术机泵轴结构紧凑效率高真空度高性稳定逐渐代SK2SK系列04~6m3min抽速水环真空泵 735 300~700 045~833 机械密封
2BE1 采西门子先进技术效率高真空度高性稳定逐渐代SK2SK系列6~120m3min抽速水环真空泵 735
640 300~700
300~600 5~400 盘根
机械密封
SZ 50年代苏联技术效率低耗80年代初已淘汰应老户 640~700 300~650 15~27 盘根
SZB 50年代苏联技术效率低耗80年代初已淘汰应水泵引水目前已SK系列水环泵代 600 300~550 033~066 盘根
2SY 应水环压缩机排气压强06MPa 6~30 机械密封
2YK 结构基2SK系列相抽介质作工作液极限真空度抽介质饱合蒸气压改变表中极限真空度工作介质变压器油时极限真空度 755 300~720 15~30 机械密封
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